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TMC Quiet Island 大型儀器主動隔振系統(tǒng) 采用STACIS - TMC業(yè)界ling 先的主動壓電消振技術(shù)、“硬安裝”設(shè)計和始于0.6 Hz的隔振與內(nèi)置隔振器的工具兼容。 模塊化、定制和重新定位的靈活性 - 每個平臺都根據(jù)客戶的應(yīng)用量身定做，但與混凝土平臺不同，如果工具或地面特性發(fā)生變化，這些平臺可以很容易地重新進(jìn)行配置。

TMC STACIS IIIc 緊湊型有源壓電 主動隔振 STACIS IIIc 是我們STACIS III 有源壓電振動消除系統(tǒng)的緊湊型版本。它以較低的高度提供同樣出色的隔振性能。 STACIS IIIc 非常適合沒有活動地板或活動地板非常低的情況，在這種情況下，標(biāo)準(zhǔn) STACIS III 系統(tǒng)的高度會使儀器過高。

TMC臺式主動隔振平臺采用地音探測速度傳感器達(dá)到亞赫茲的低頻性能，其低頻靈敏度要優(yōu)于加速度計。

主動隔振平臺采用串聯(lián)式主動系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的臺式振動消除系統(tǒng)，再加上用于提升亞赫茲靈敏度的速度傳感器，可以使低頻振動得到大幅衰減。

STACIS®III主動隔振系統(tǒng)主動光學(xué)平臺。采用*的慣性振動傳感器，復(fù)雜的控制算法，和*的壓電致動器。STACIS通過連續(xù)測量地板活動、擴(kuò)大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進(jìn)行實(shí)時隔離振動。 初被設(shè)計用于*半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設(shè)備的隔振，STACIS現(xiàn)在是嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，包括但不局限于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備