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TMC主動(dòng)壓電消振SEM-Base VI 用于SEM和FIB，是專(zhuān)為掃描電子顯微鏡所設(shè)計(jì)的。掃描電子顯微鏡是振動(dòng)敏感的儀器，而且這些精密儀器都有內(nèi)置的隔振系統(tǒng)，SEM-Base可以兼容SEM內(nèi)部預(yù)裝的振動(dòng)隔離系統(tǒng)。

TMC Stage-Base混合壓電電機(jī)主動(dòng)隔振系統(tǒng) TMC繼續(xù)在*技術(shù)的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)新的解決方案，以滿(mǎn)足半導(dǎo)體工具對(duì)其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專(zhuān)為帶高精度電動(dòng)X-Y平臺(tái)的高級(jí)半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主要消振系統(tǒng)。

TMC LaserTable-Base混合壓電主動(dòng)隔振系統(tǒng) TMC的STACIS通過(guò)結(jié)合壓電致動(dòng)器和慣性振動(dòng)傳感器的專(zhuān)有技術(shù)克服了這些限制，可消除而不會(huì)放大極低頻振動(dòng)。LaserTable-Base將這兩項(xiàng)技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個(gè)集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個(gè)串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng)，這實(shí)現(xiàn)了低頻率消振和qian所wei有的高頻隔振水平。

TMC TOOL-Base主動(dòng)壓電地面減振平臺(tái) TOOL-Base是一種*的主動(dòng)壓電地面減振平臺(tái)，用于超精密儀器和機(jī)械設(shè)備。 它適用于比典型的商業(yè)掃描電子顯微鏡（SEM）更大或更重的儀器，而且設(shè)備有高度限制。 TOOL-Base不局限于單一的配置，而是可以被設(shè)計(jì)成與工具的尺寸、腿的布局和高度要求緊密匹配。此外，它的容量可以與有效載荷的質(zhì)量相匹配。

TMC SEM-Base VI 主動(dòng)壓電隔振 硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開(kāi)始主動(dòng)減輕低頻地面振動(dòng)。 主動(dòng)慣性振動(dòng)消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減。 采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì)

TMC STACIS地面平臺(tái) 主動(dòng)壓電隔振器 對(duì)于傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室地面，隔離高大工具的建筑地面振動(dòng)是一個(gè)人體工程學(xué)領(lǐng)域的挑戰(zhàn)。將隔振器直接放置在工具下方可能會(huì)將工具抬高到一個(gè)不切實(shí)際的高度。此外，傳統(tǒng)空氣隔振器放置在一個(gè)較高、上重下輕的有效載荷之下時(shí)不穩(wěn)定。