主動(dòng)隔振平臺(tái)采用*的慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和*的壓電致動(dòng)器，通過連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng)，擴(kuò)大和收縮壓電致動(dòng)器過濾地板振動(dòng)來進(jìn)行實(shí)時(shí)振動(dòng)隔離，在一開始的設(shè)計(jì)中，主要用于*半導(dǎo)體工廠的精密顯微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備振動(dòng)隔離， 如今也可以成為嘈雜環(huán)境中敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，隨著技術(shù)的不斷提升，該隔振平臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓廠、失效分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米加工設(shè)備和材料研究。